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鑽石具有高硬度、高熱傳導係數、低膨脹係數、低摩擦系數與高 化學安定度等特性,但鑽石產量稀少、價格昂貴且加工困難,類鑽碳薄膜具有和天然鑽石相近的性質,其中包括了有高硬度、耐腐蝕性佳、表面平滑、摩擦係數小、抗磨耗性佳、生物相容性佳等,且有價格上之優勢。由於具有這些優越特性,使其在機械、電子、半導體等工業之應用日益廣泛。
類鑽碳薄膜是由SP2及SP3組成,如能將SP2晶格減少,且增加SP3晶格,類鑽碳薄膜將會很接近鑽石薄膜,然而由於在結構中含有被扭曲的 sp3 鍵結