二氧化矽拋光液應用參數

二氧化矽拋光液介紹:

BW二氧化矽拋光液是以高純矽粉為原料，在催化劑作用下，通過熱水解的方法生產。產品具有細微性可控、純度高、拋光速率高的優勢，廣泛用於納米級的化學機械拋光。

二氧化矽拋光液典型型號及技術參數

鹼性 pH: 9.8±0.5	SOQ-2	SOQ-4	SOQ-6	SOQ-8	SOQ-10	SOQ-12
酸性 pH: 2.8±0.5	ASOQ-2	ASOQ-4	ASOQ-6	ASOQ-8	ASOQ-10	ASOQ-12
細微性(nm)	10~30	30~50	50~70	70~90	90~110	110~130
外觀	半透明或乳白色液體
密度 (g/ml)	1. 15±0.05
濃度 (SiO2 (wt)%)	15-30%

典型應用-矽晶片拋光參數

典型應用-矽晶片拋光參數

典型應用-砷化鎵晶片拋光參數

典型應用-晶片氧化層拋光參數

典型應用-晶片銅層拋光參數

典型應用-藍寶石晶片拋光參數

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