新 日鐵Materials之子公司—日鐵Composite公司，以碳纖維強化樹脂（CFRP）為母材，於表面與精密陶瓷（FC）組合，開發出新複合材料。 與新日鐵集團的零熱膨脹陶瓷「NEXCERA」同時燒結一體化，新產品相較陶瓷單體，具有輕量化的優點，且不易碎裂。相較於CFRP單體，新產品可實現 CFRP難以達成的高精度，新產品被視為是低熱膨脹/高精度材料，建議可應用在半導體元件製造裝置等機密機械領域。
一般來說，CFRP的 比剛性較高，若用於縮小投影型曝光裝置（Stepper）等必 須進行急速動作的零件，慣性力會降低，再加上表面平均粗度（Ra）10微米就已是極限，無法達到次微米（Submicrometer）所要求的精度。另一 方面，若使用陶瓷單體，因其容易因撞擊導致損壞，主流的碳化矽及SiAION（含矽、鋁、氧氣、氮器之陶瓷），因其熱膨脹率及密度較高，也是研發時的問題 所在。
為解決上述問題，該公司利用碳纖維的編織布（cloth prepreg）與陶瓷為原料，再以壓熱器（autoclave）燒結，再以含浸預浸料坯（prepreg）的Epoxy樹脂與FC接著劑發揮其機能，完 成Ra0.352微米的成果。因其不使用接著劑，免除氣泡及塗佈膜厚不均的問題，可保持成品的高精度。應用在各種精密器械上，因只使用於有高精度需求的部 位，必要的部位可配合FC使用，可降低生產成本。
該公司本次所使用的CFRP為子公司日本Graphite Fiber所製造，使用彈性率80t、低熱膨脹的Pitch系碳纖維「XN-80」，以及Epoxy樹脂的複合材料，依照用途也可變更為PAN系碳纖維。 新開發的產品，可作為各種精密器械中，Stepper及檢查裝置等必須進行精密定位的Stage重點材料之用途。
資料來源: 化學工業日報/材料世界網編譯
引用出處：
http://www.materialsnet.com.tw/DocView.aspx?id=8644
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