Thursday, April 28, 2011

Komatsu、Ushio拆夥 影響EUV光源開發?www.tool-tool.com

日本的 Komatsu 和 Ushio 稍早前宣佈,已終止有關光源合資企業 Gigaphoton 的合作協議。 Komatsu 將從 Ushio 手中買下50%股權。未來 Gigaphoton 將成為 Komatsu 的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數仍有待觀察。

成立於2000年8月的日本Gigaphoton公司主要業務是開發、生產和銷售微影工具用的準分子雷射光源,是由Ushio和Komatsu合資成立的企業,雙方各握有50%股權。

包括 Cymer 、 Gigaphoton 、 Ushio 和其他業者都正在為下一代微影工具開發EUV光源。 Gigaphoton 採用雷射激發電漿型(LPP)戶方法,而Ushio則採取放電激發電漿型(DPP)方法。

現在,Gigaphoton和Ushio將在EUV光源市場中展開競爭。Cymer公司是LPP技術的推動廠商。在LPP方法中,電漿是透過在指定材料上收集強大的雷射束來激發,而DPP方法則是透過在電子間對大電流脈衝充電來激發電漿。

日 本的Ushio去年收購了飛利浦電子的EUV光源業務。飛利浦之前便已將其EUV事業部轉移到日本公司的EUV部門,稱之為Xtreme Technologies GmbH。Xtreme一直在從事EUV光源的研發,並自2008年起與飛利浦合作開針對下一代半導體技術的EUV光源。

Ushio在2005年取得Xtreme的50%股權,並於2008年與飛利浦攜手展開研究,其研究也特別著重在EUV光源部份。而在同一年,Ushio也併購Xtreme,使其成為100%的子公司。

目前,作為下一代微影技術主要候選人之一的EUV技術,仍然因為光源、光阻和關鍵光罩與量測基礎設施的缺乏而延遲。但晶片製造商仍對它充滿寄望。“我們估計在14nm節點可導入EUV技術,”台積電(TSMC)資深研發副總裁蔣尚義說。

台積電的28nm製程採用的是193nm浸入式微影技術;蔣尚義表示將在20nm製程導入雙重曝光(double patterning),而EUV技術則預計最快在14nm時才可望實現。

“EUV的最主要挑戰在產量和光源,”蔣尚義說。儘管站在晶片供應商的角度,整個產業都致力於建構完整的EUV基礎環境,但根本上EUV要能順利應用仍然缺乏許多條件,特別是在光源部份,現在整個產業都在等待光源的改良。

不 過,就算EUV真的趕不及,蔣尚義表示,仍有其他替代技術可供選擇。他看好電子束技術。舉例來說,“荷蘭Mapper Lithography已經開發出110電子束系統了,儘管該系統仍在開發初期,但根據產品藍圖,未來該公司將提供13,000電子束系統,”蔣尚義說。

從技術角度來看,“我們至少可以延伸到7nm或8nm,”蔣尚義說。而晶片製造商在選擇下一代微影技術時,必須對晶圓成本做全盤考量。因此,下一代微影技術的發展仍然充滿變數。

台積電預計2012下半年試產20nm製程,而預估2013~2014導入的18吋晶圓也將搭配20nm製程。

作者:Mark LaPedus、Joy Teng

(參考原文: Japan's EUV source vendors file for divorce)

引用出處:

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