日本產業技術總合研究所秋山守人組長所領軍的研究團隊開發出可耐熱攝氏1000千度以上高溫之金屬薄膜製造技術。研究團隊先做出兩種金屬薄膜，然後再將之製為合金。
以 往的薄膜只要超過攝氏1000度就容易與空氣中的氧氣或氮氣進行化學反應，因此存在著會自貼附的基板上剝離的問 題。新開發的製造方法則是在耐熱材料氧化鋯基板上製作厚度約100奈米的釕(ruthenium)薄膜，然後於釕薄膜上方製作同樣厚度的鎢 (tungsten)薄膜；最後再以攝氏1450度加熱一個小時，使釕與鎢結合為合金。研究團隊藉由加熱實驗來確保新產品的導電性並確認不會有剝離或破碎 的情況發生。假使以其他的鉑系元素如銠(Rhodium)或鉑來取代釕、以鉻(chromium)或鎳(Nickel)等其他高熔點的金屬來取代鎢的話， 也能夠達到同樣的性能。
噴射引擎、發電用渦輪、鐵工廠高溫爐等周邊往往都超過攝氏1000度高溫，為了檢測故障狀況便需要可長時間調查震 動 或壓力等的感應器；然而一直以來卻沒有可用於1000度以上的感應器，所以必須要先停止機器的運轉後才能進行檢查。此次開發的新產品除將以高溫環境異常檢 測感應器之電極為應用目標外，研究團隊今後也將以開發可耐攝氏2000度以上的金屬薄膜為主要研究方向。
資料來源: 日經產業新聞/材料新聞網編譯
引用出處：
http://www.materialsnet.com.tw/DocView.aspx?id=9127
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