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按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強範圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣係統共同抽氣後才能滿足生產和科學研究過程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機組進行抽氣的情況較多。為了方便起見，將這些泵按其工作原理或其結構特點進行一些具體的詳細的分類是必要的。現分述如下：
一、氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：
1、變容真空泵
變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往複式及旋轉式兩種：
⑴往複真空泵：是利用泵腔內活塞做往複運動，將氣體吸入、壓縮並排出。因此，又稱為活塞式真空泵。
⑵旋轉真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入，壓縮並排出。旋轉真空泵又有如下幾種型式：
①油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種型式。

a)旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內並與泵殼內表麵的固定麵靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往複滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。
b）滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥杆能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。
c）定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表麵靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表麵接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。
d）餘擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為餘擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動並將泵腔分成兩個可變容積。
e）多室旋片式真空泵：在一個泵殼內並聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
②幹式真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變容真空泵。
③液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼形成泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。
④羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬於旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。

2、動量傳輸泵

這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
①牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。
③複合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種複合式分子真空泵。

(2)噴射真空泵：它是利用文丘裏（Venturi）效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適於在粘滯流和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：

①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。

②氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。
③蒸氣噴射真空泵：以蒸氣（水、油或汞等蒸氣）作為工作介質的噴射真空泵。
(3)擴散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適於在分子流狀態下工作。可分為：
①自淨化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。

②分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。
(4)擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬於這種型式。
(5)離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。
二、氣體捕集泵
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表麵上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
1、吸附泵
它主要依靠具有大表麵的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
2、吸氣劑泵
它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬於這種型式。

3、吸氣劑離子泵

它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表麵上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。

(1)蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。

(2)濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。
4、低溫泵
利用低溫表麵捕集氣體的真空泵。

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