1章 スパッタ薄膜とは
1.1 スパッタ技術の概要
1.1-1 スパッタの常識
1.1-2 スパッタと真空蒸着の違い
1.2 スパッタ薄膜応用のあらまし
1.2-1 デバイスの高集積、微細化
1.2-2 各種の高密度記録媒体
(1)光ディスク
(2)磁気記録媒体
1.2-3 スパッタ薄膜独自の性能利用
(1)混成IC用β-Ta
(2)ダイヤモンド状薄膜
(3)CoCr垂直磁気記録媒体
(4)表面弾性波(SAW)デバイス
(5)その他
1.3 スパッタ条件と薄膜の性質
2章 気体の性質
2.1 圧力とガス分子密度
p=nkT k:ボルツマン定数
分子密度 n= 3.5*10^16*P*(273/T)
2.2 平均自由行程
ガス分子が動きながら他の分子と衝突して次に衝突するまでの距離
→自由行程
自由行程の平均値 λ=1/((√2)*π*σ^2*n)
σ:分子直径
2.3 表面に対するガス分子の入射束
ガス分子が単位面積当たりに毎秒入射する数 j:入射束(flux)
j=n*c/4
c:分子の平均熱速度
c=√(8kT/πM)
2.4 物理吸着と化学吸着
ファン・デル・ワールス力,静電的な力：物理吸着
Tiなどの表面にH2,N2,O2などが吸着するとき：科学吸着
1)一般に 化学吸着熱:qc ＞ 物理吸着熱:qp
2)化学吸着:表面の種類に敏感, 物理吸着:鈍感
3)化学吸着は1～2層で終わり、圧力依存性:小 物理吸着は多層吸着
4)化学吸着:解離の有無に分かれる
5)化学吸着には活性化エネルギ吸着などがある
2.5 各種技術における残留ガスの限界
2.5-1 テレビ用受信管など各種電子管
2.5-2 オージェ電子表面分析装置
2.5-3 スパッタ装置の許容残留ガス
BW Bewise Inc.
Welcome to BW tool world! We are an experienced tool maker specialized in cutting tools. We focus on what you need and endeavor to research the best cutter to satisfy users’ demand. Our customers involve wide range of industries, like mold & die, aerospace, electronic, machinery, etc. We are professional expert in cutting field. We would like to solve every problem from you. Please feel free to contact us, its our pleasure to serve for you. BW product including: cutting tool、aerospace tool .HSS Cutting tool、Carbide end mills、Carbide cutting tool、NAS Cutting tool、Carbide end mill、Aerospace cutting tool、Фрезеры’Carbide drill、High speed steel、Milling cutter、CVDD(Chemical Vapor Deposition Diamond )’PCBN (Polycrystalline Cubic Boron Nitride) ’Core drill、Tapered end mills、CVD Diamond Tools Inserts’PCD Edge-Beveling Cutter(Golden Finger’PCD V-Cutter’PCD Wood tools’PCD Cutting tools’PCD Circular Saw Blade’PVDD End Mills’diamond tool ‘Single Crystal Diamond ‘Metric end mills、Miniature end mills、Специальные режущие инструменты ‘Пустотелое сверло ‘Pilot reamer、Fraises’Fresas con mango’ PCD (Polycrystalline diamond) ‘Frese’Electronics cutter、Step drill、Metal cutting saw、Double margin drill、Gun barrel、Angle milling cutter、Carbide burrs、Carbide tipped cutter、Chamfering tool、IC card engraving cutter、Side cutter、NAS tool、DIN tool、Special tool、Metal slitting saws、Shell end mills、Side and face milling cutters、Side chip clearance saws、Long end mills、Stub roughing end mills、Dovetail milling cutters、Carbide slot drills、Carbide torus cutters、Angel carbide end mills、Carbide torus cutters、Carbide ball-nosed slot drills、Mould cutter、Tool manufacturer.
Bewise Inc. www.tool-tool.com
BW специализируется в научных исследованиях и разработках, и снабжаем самым высокотехнологичным карбидовым материалом для поставки режущих / фрезеровочных инструментов для почвы, воздушного пространства и электронной индустрии. В нашу основную продукцию входит твердый карбид / быстрорежущая сталь, а также двигатели, микроэлектрические дрели, IC картонорезальные машины, фрезы для гравирования, режущие пилы, фрезеры-расширители, фрезеры-расширители с резцом, дрели, резаки форм для шлицевого вала / звездочки роликовой цепи, и специальные нано инструменты. Пожалуйста, посетите сайт www.tool-tool.com для получения большей информации.
No comments:
Post a Comment